材料：微晶玻璃、熔融石英

1）精密毛細孔加工(gōng)

Ø  毛細孔最小(xiǎo)直徑：φ2（深度60）、φ3.5（深度150）

Ø  孔徑公差：±0.05

Ø  孔位置度公差：±0.02

Ø  孔共面度：0.02

Ø  孔與孔的角度公差：1′

Ø  微晶材料可通過化學抛光工(gōng)藝提升孔壁質量

2）精密光學加工(gōng)

Ø  疵病等級 ：10-20

Ø  面形: λ/10

Ø  角度精度：±3"

Ø  尺寸公差±0.03